| PSD-2 |
| 型號 | 一對干燥筒, 壓力切變 |
| 干燥劑 | 4 A分子篩 |
| 計時器 | 機械轉(zhuǎn)盤計時 |
| 壓力表 | 波爾登管式 |
| 排氣口 | 燒結(jié)黃銅消音器 |
| 氣體入口 | 10 Nl/min 在 70 ~ 100 psig; 無油無液態(tài)水 |
| 氣體出口 | 7 Nl/min (zui高) 在小于 1 ppmV 時 (= 低于 -75°C 露點); 出氣壓力 10 psig |
| 電源 | 100/120 或 220/240 V AC, 50/60 Hz |
| 工作溫度 | +5 ~ +35°C |
| 存儲溫度 | -40 ~ +35°C |
| 結(jié)構(gòu) | 鋁制外殼, 19” 機架安裝 6U x 350mm 深 |
| 重量 | 大約 12.5kg |
| PSD-4 |
| 型號 | 一對干燥筒, 壓力切變 |
| 干燥劑 | 4 A分子篩 |
| 計時器 | 機械轉(zhuǎn)盤計時 |
| 氣路端口 | 氣體入口-不銹鋼6mm Swagelok® 卡套
氣體出口-不銹鋼 ¼” Swagelok® 卡套 VCR 接口 |
| 氣體入口 | 20 Nl/min 在 70 ~ 100 psig; 無油無液態(tài)水 (不高于 -40°C 露點) |
| 氣體出口 | 10 Nl/min (zui大) 在低于 13 ppbV 時 (-100°C 露點) |
| 過濾 | 圓片過濾, 密封型, 0.003 µm等級的過濾效果優(yōu)于 99.999% |
| 電源 | 220/240 V AC, 50/60 Hz |
| 工作溫度 | +10 ~ +40°C |
| 存儲溫度 | -40 ~ +50°C |
| 結(jié)構(gòu) | IP66 (NEMA 4) GRP 壁掛式機柜 (700 x 500 x 270mm); 所有氣路元件為 316 不銹鋼 |
| 重量 | 大約27kg |
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