Pura Plus在線微量濕度異動變送器尺寸和指標的需求變化而特殊設計的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器，多路安裝在半導體工廠內通向生產線的氣體供應zui末端，用來監(jiān)測超純惰性氣體的應用。工廠內氣體系統(tǒng)分布復雜，涉及到很多分支、節(jié)點和使用點。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測點后，會由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設計、元件故障或過程出錯等等原因導致濕氣滲入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應指示，在 20 ppb 濕氣級別下
1 ppb 的異動的響應時間小于1 分鐘。
亮點- 對 ppb 級別濕度異動的快速響應
- 低濕 ppb 級別的靈敏度 (<1 ppb)
- 多點測量安裝的全新概念
- 維護要求低
- 信號燈式的狀態(tài)指示
- 可設置警告和報警點
- Modbus 網絡兼容
- 遠程控制界面的多通道軟件
- (UHP) 超純氣體的管線檢測
| | 技術指標 | | 響應速度 | <1 分鐘 20 ppb 濕氣變動1 ppb 的響應時間 | | 濕度量程 | 1 ppb to 20,000 ppm | | 壓力范圍 | 0 to 10 bar | | 耐壓等級 | 300 bar | | 泄漏測試 | 0-9 mbar l/s | | 工作流量范圍 | 1 ~ 10 l/min | | 工作溫度 | 5 ~ 40°C | | 存儲溫度 | 30 ~ 70°C | | 電源 | 20 ~ 28 V DC | | 功耗 | 5 W zui大 | | 外部保險絲等級 | 500 mA 快熔型 | | 數據輸出 | Modbus ASCII 兩線 RS485 | | 警告和報警輸出 | 2 路 | | zui大電壓 | 40 V DC | | zui大電流 | 100 mA | | 氣體接觸的材質 | | 外殼材質 | 不銹鋼 AISI 316L, 內表面電拋光 <10 Ra | | 傳感器結構 | 氧化鋁電解質, 上層鍍金保護, 下層鋁層 | | 內部容積 | 4.4cm³ | | 重量 | 450g | | 氣路接口 | 1/4" m VCR | | 電氣接口 | 9 - 針 D - 型 m 接口 | | 電磁兼容性 | EN50081-2 和 EN50082-2 |
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